期刊简介
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《微纳电子技术》杂志，于1964年经国家新闻出版总署批准正式创刊，CN:13-1314/TN，本刊在国内外有广泛的覆盖面，题材新颖，信息量大、时效性强的特点，其中主要栏目有：微细加工技术与设备、企业与人物追踪、业界快讯等。
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技术论坛 材料与结构 MEMS与传感器 加工 测量与设备
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(2)标题层次应分明，文中节段层次序号分别用“1”、“1.1”、“1.1.1”，一般以三级为宜。文内接排序号用圆圈码，如①、②、③……表示。
(3)来稿请同时寄送电子版和纸质文本，并注明作者姓名、最高学历、职称、工作单位、通讯地址、邮政编码及联系电话。
(4)注释采用脚注，每页重新编号，著作的注释内容依次为：作者、书名、卷册、出版者、出版年份、页码，期刊的注释内容依次为：作者、文章名、期刊名、年份、期数。
(5)作图数据必须附于图后。图片必须反差鲜明，清晰易辨。显微照片内应画长度标尺，如1 μm。图片像素应尽量较高，附于相应文字下方，并标明图号、图题和图注，注意图片的上下方位。
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